クラス100のクリーンルームを維持するためには、粒子の発生を防ぐことが重要です。わずかな異物があっただけで、作業した製品全体が無駄になってしまいます。問題は、一般的なヒーターではこのような状況に対応できないことです。熱サイクルが始まるとすぐにガスを放出したり、表面上から剥がれ落ちたりします。
そのため、私たちは高純度の合成クォーツ製のIRランプを使用しています。
なぜクォーツなのか？ 実は、低い水酸基含有量を持つ融成シリカを使用しているのです。これは技術的な表現に聞こえますが、要するに、このランプはウェーハに汚染物質を付着させないのです。
時間が経つにつれて酸化し、剥がれ落ちてしまう金属製のヒーターとは異なり、クォーツは安定して機能します。短波長のIR放射を直接対象物に送り込むのです。つまり、周囲の空気を温めるのではなく、対象物自体を温めるのです。これにより、より清潔で効率的な加熱が可能になります。
適切な設定方法 ファブのアップグレードを計画する際には、出力と加熱チャンバーの容量のバランスを考える必要があります。私たちはさまざまな長さや電圧のランプを用意しているので、通常は既存の電源システムに問題なく接続できます。
しかし、接続点には注意が必要です。そこが問題が発生しやすい場所です。
私たちは精密に加工された電極やしっかりした接続部品を使用して、アーク発生を防ぎ、金属粉が混入するのを防ぎます。古い装置に交換する場合は、配線を必ず確認してください。高出力のランプは多くの電流を消費するため、初日から電源装置が壊れるのを避けたいものです。
妥協点 正直に言うと、クォーツは化学的には清潔ですが、脆弱です。強い衝撃には耐えられません。
取り付けブラケットにも注意が必要です。ランプが振動したり、金属フレームに擦れたりすると、割れてしまいます。ガラスに機械的なストレスがかからないようにしてください。
最後に、すぐに最大出力に設定しないでください。最初の数回は徐々に出力を上げていきましょう。そうすることで、製造過程で残った膜を除去できます。ランプがしっかりと機能するようになれば、安定した、粒子のない加熱源が得られます。