TEL 東京エレクトロン ヒーターランプ

リソグラフィーの工程において、加熱処理というのは単なる温度調整だけではありません。それは、製品の寸法精度を保証するためのものです。もしホットプレートの温度が0.5℃でも変動すれば、製品の寸法精度が乱れてしまいます。再現性も保てなくなります。TELヒーターランプは、このような不確実性を排除するために...