ワイヤーの適切な乾燥方法（ほこりを出さずに） MEMSセンサーの製造に従事したことがある人なら、その悩みはよく知っているでしょう。ワイヤー上にほんのわずかなほこりが付着するだけで、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。本当にイライラします。多くの場合、問題の原因はヒーター自体です。古い金属製...

ランプの故障によって製品が台無しになる心配はもうしなくて大丈夫です。 高負荷のウェーハ製造ラインでは、1本のランプが壊れるだけでも大変な事態になります。クォーツ管が割れると、ガラスの破片やほこりがウェーハの上に降り注ぎます。これは即座の災害です。その場合、全てのウェーハがダメになり、多大な清掃作業...

ウォーファが最終すすぎから出てくる様子を観察してください。もし乾燥工程で熱予算を守れなければ、微小なプール形成が発生し、次のフォトレジスト塗布でそれが影響します。エッジビードが現れ、クリティカルディメンションがずれます。突然、ロットがスクラップを迎えることになります。 したがって、単に速く乾燥させ...