クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために ウェーハ製造の現場では、ほんのわずかなほこりでも大問題です。それは、一括りのチップ全体が破棄される原因となります。非常にストレスの多い状況です。このような環境では、ほとんどの加熱要素が問題を引き起こします。なぜなら、本来必要ないタイミングで...

シャードの発生を防ぐ：IRランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 半導体やセンサーのパッケージング作業を経験したことがある人なら、その状況をよく知っているでしょう。高負荷のIRランプが壊れてしまうと、瞬時に生産ラインが停止してしまいます。それはまさに災害状態です。 単に熱が出なくなるだけで...

なぜ、すべてのウェハ用IRセンサーに対してストレステストを行うのか？ ウェハ製造用のIRセンサーを開発する際には、「十分である」ということはありません。電気的なアークやわずかな絶縁不良は、単なる技術的な問題ではありません。それは大災害です。それによって、大量のシリコンウェハが破壊され、生産ライン全...

マシン全体を加熱するのではなく、センサーだけを加熱しましょう。 水素センサーを製造する際に最も避けたいのは、製造室全体をオーブンのようにしてしまうことです。 通常の加熱方法では、熱があちこちに散らばってしまい、高価な装置の内側の壁面を温めるだけで莫大なエネルギーが無駄になります。非効率的であり、実...

ファブの現場では、バイオセンサー用ウェーハの品質は、加熱処理の再現性にかかっています。フォトレジストを焼成する際に30m°Cもの温度変動があると、線幅の制御ができなくなります。また、過度な加熱によって粒子が発生すると、歩留まりが著しく低下します。そうした不確実性をなくすために、私たちはIRランプシ...