マシン全体を加熱するのではなく、センサーだけを加熱しましょう。
水素センサーを製造する際に最も避けたいのは、製造室全体をオーブンのようにしてしまうことです。
通常の加熱方法では、熱があちこちに散らばってしまい、高価な装置の内側の壁面を温めるだけで莫大なエネルギーが無駄になります。非効率的であり、実際、非常に面倒です。
そのため、私たちは方向性のある赤外線ランプを使用します。熱をあらゆる方向に放出するのではなく、直接基板上に集中させます。そうすれば、センサーは必要な熱を得られ、筐体は冷たいままです。結果として、機器の寿命が延び、作業員も筐体に触れて火傷する危険から守られます。
熱がどのように移動するか
私たちは短波長の赤外線エミッターを使って、エネルギーを正確にウェーハ上に届けます。
ほとんどのヒーターは360度全方位に熱を放散しますが、これらのランプはそうではありません。専用の反射板を使って、その熱エネルギーを特定の方向に向けます。これは、電球と懐中電灯の違いに似ています。繊細な作業に必要な迅速な温度上昇が可能であり、同時に工具の内部が焼ける心配もありません。
難しい点
ただし、高強度のランプは迅速な硬化やアニーリングには適していますが、欠点もあります。出力を高くしすぎると、目標温度を超えてしまう可能性があります。センサーを壊したくはありませんよね。安定した状態を保つためには、高速反応型のピロメーターや閉ループPIDコントローラーを併用することを強くお勧めします。
また、冷却システムも確認してください。集中した熱負荷に対応できない場合、精度が低下してしまいます。
自分の工場での利用方法
最良の点は、廃熱が筐体に漏れ出さないため、広々とした冷却装置を設置する必要がないことです。
接続方法も簡単です。電圧がエミッターの仕様に合っていれば、既存の電源に直接接続できます。
とてもシンプルです。熱は部品上に留まり、工具は冷たいままで、作業環境も安全です。それだけです。