生産ラインがフル稼働しているとき、信頼性は単なる望ましい要素ではなく、必須のものです。特にクリーンルームではそうです。1台のランプが故障するだけで、全体の生産が停止してしまいます。さらに悪いことに、ウェーハが汚染されてしまう可能性もあります。まさにそのために、私たちはこのような赤外線ヒーターを開発したのです。これにより、その弱点を解消できます。
このヒーターは、長時間連続して使用できるように設計されています。400V、2500Wのハロゲン赤外線ランプを内蔵しており、その有効長さは300mmです。これにより、小さな空間内で大量の熱を発生させることができ、目的の温度に迅速に到達できます。また、400Vという高電圧仕様により、配線や端子への負担が少なくなります。300mmという長さも利点で、標準的な取り付け装置に簡単に装着でき、必要な場所に正確に熱を集中させることができます。
ランプ管として石英を選んだのは、瞬時に熱に反応し、熱衝撃に強いからです。内部のハロゲンサイクルにより、ランプの性能が安定し、長期間にわたって安定した出力を維持できます。これにより、早期の損傷を防ぐことができます。
安全性について言えば、石英の本体にはコーティングが施されています。このコーティングは、内部の圧力が急上昇したときに、破片が飛び散るのを防ぎます。R7sコネクタも優れており、石英の膨張に対応しながら、しっかりと接続を保ちます。これにより、メンテナンス時にランプを交換するのも簡単になります。
クリーンルームのオーブンでは、ほこりや汚れを発生させない熱源が必要です。コーティングされた石英とハロゲンサイクルにより、重負荷の状態でもランプが清潔な状態で動作します。その結果、予期せぬ停止が減り、ウェーハが汚染されるリスクも大幅に低減されます。
また、高い出力密度により、設定された温度に迅速に到達でき、生産効率が向上します。
ただし、2500Wという高い出力のため、適切な冷却・換気システムが必要です。適切な風量を計画すれば、このランプは高温にも耐えて動き続けます。