クラス100のクリーンルームを維持するためには、粒子の発生を防ぐことが重要です。わずかな異物があっただけで、作業した製品全体が無駄になってしまいます。問題は、一般的なヒーターではこのような状況に対応できないことです。熱サイクルが始まるとすぐにガスを放出したり、表面上から剥がれ落ちたりします。 その...

生産ラインがフル稼働しているとき、信頼性は単なる望ましい要素ではなく、必須のものです。特にクリーンルームではそうです。1台のランプが故障するだけで、全体の生産が停止してしまいます。さらに悪いことに、ウェーハが汚染されてしまう可能性もあります。まさにそのために、私たちはこのような赤外線ヒーターを開発...