半導体クリーンルーム用トロリーヒーター
なぜクリーンルーム用のトロリーにはIR硬化法が使われるのか
半導体製造工場において、「環境に優しい」というのは、単にパンフレットで見栄を良くするための言葉ではありません。それは生き残るための必須条件です。もしワイヤ上にわずかな化学物質や重金属が付着してしまうと、大きな問題になります。そのため、私た...
クリーンルーム用赤外線ヒーター
クリーンルームを安全に保つために(そしてヒーターが正常に動き続けるために)
クリーンルームで作業するときは、わずかなミスも許されません。ほんの少しのほこりや電気的なトラブルでも、すべてを台無しにしてしまいます。そのため、赤外線ヒーターを製造する際には、単にどれだけの熱を放出するかだけを考えるのでは...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
クラス100という環境で作業を行うとき、最も避けたいのが、ヒーターが「砲のように」機能してしまうことです。一般的なヒーターでは、粒子が剥がれ落ちたり、ガスが放出されたりすることがあります。もし、わずかな微粒子でもシリコンウェーハや精密なレ...