熱の無駄遣いを止めよう：ウェーハの硬化処理におけるより良い方法 標準的なIRランプには問題があります。それは、熱があらゆる方向に放出されてしまうことです。つまり、360度全方位に熱が広がってしまうのです。 ウェーハを硬化処理する際、ウェーハに当たらないエネルギーは、単なる無駄遣いに過ぎません。さら...

ウェーハを温めるのではなく、機械自体を温めないようにしましょう。 半導体製造工場では、熱は非常に重要な要素です。ただし、その熱が本来あるべき場所以外に行ってしまうと問題になります。 問題点は、一般的な赤外線ランプはエネルギーを全方位に放出してしまうことです。これを硬化室の中に設置すると、その熱の大...

アウトライン上で、BCB層の熱プロファイルがずれると、即座に停止するわけではありません。徐々に歩留まりが低下し、残留応力や接着不良が数時間後のテストで初めて表面化します。このドリフトを根本から抑制するために、BCB硬化用ランプを開発しました。リソグラフィ、パッケージング、洗浄工程において、温度は推...