フォトレジスト剥離用サポートヒーター

製造現場においては、ストリッピングチャンバーは所定の温度に達するまで待機状態にあります。もしサポートヒーターの温度が不安定になると、残留物が残ってしまい、次に塗布される層がうまく密着しなくなります。そのため、繰り返し焼成を行う際にも、常に所定の温度を維持できる熱制御が必要です。 実際に重要なのは何...