TARC/BARC焼成ヒーター

リソグラフィーの工程において、TARC/BARC処理中にわずか0.5度の温度変動があっただけで、重要な寸法や欠陥が生じてしまい、検査ではすでに手遅れになってしまいます。必要なのは、変数としてではなく、一定の値を保つような熱源です。 技術的に重要な点 私たちが開発したTARC/BARC用ヒーターは、...