以下に、次の分類用語を使用するページがあります “MOCVD” Veeco MOCVDヒーターランプ ファブ内では、ソフトベイクやハードベイクの際の熱変動が問題となり、これによってフォトレジストの特性が不安定になってしまいます。2℃もの温度変動があれば、重要な寸法の制御は不可能になります。その結果、エッチング工程でも問題が生じます。Veeco MOCVDヒーターランプは、このような不確実性を解消す... Read more...
Veeco MOCVDヒーターランプ ファブ内では、ソフトベイクやハードベイクの際の熱変動が問題となり、これによってフォトレジストの特性が不安定になってしまいます。2℃もの温度変動があれば、重要な寸法の制御は不可能になります。その結果、エッチング工程でも問題が生じます。Veeco MOCVDヒーターランプは、このような不確実性を解消す... Read more...
