ウェーハ処理装置用温度センサー

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために ウェーハ製造の現場では、ほんのわずかなほこりでも大問題です。それは、一括りのチップ全体が破棄される原因となります。非常にストレスの多い状況です。このような環境では、ほとんどの加熱要素が問題を引き起こします。なぜなら、本来必要ないタイミングで...