クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
ウェーハ製造の現場では、ほんのわずかなほこりでも大問題です。それは、一括りのチップ全体が破棄される原因となります。非常にストレスの多い状況です。このような環境では、ほとんどの加熱要素が問題を引き起こします。なぜなら、本来必要ないタイミングでガスが放出されたり、粒子が飛び散ったりするからです。
そのため、私たちは高純度の合成石英を使用したIRランプを使っています。これらのランプは、そうした問題を引き起こしません。
石英の特徴
私たちが使用しているのは、熱を受けても結晶化しない溶融シリカです。安価なガラスや質の悪い石英を使うと、加熱や冷却時に管が剥がれたり、ほこりが発生したりします。そんなことは許されません。
私たちのランプは滑らかな状態を保ち続けます。IR放射線が直接ウェーハに当たるため、不純物がウェーハ表面に付着することはありません。
ツールへの適合性
半導体製造用のツールは限られたスペースしかありません。そのため、私たちはフィラメントの形状を調整し、ウェーハに均等に熱が行き渡るようにしています。熱の偏りや奇妙な温度勾配が発生せず、焼成や硬化の際に歪みも起こりません。
また、エンドキャップの密封も徹底しています。内部のハロゲンガスがランプの中だけに留まり、真空状態のクリーンルームに漏れ出ないようにしています。
ただし、この密封は非常に厳格です。もし密封が壊れれば、ランプはすぐに故障してしまいます。これはトレードオフです。クリーンルームを台無しにするよりは、ランプを早く交換した方が良いのです。そのため、ランプには丁寧に扱う必要があります。正確な位置合わせが重要です。
稼働させる方法
これらのランプを既存のPIDコントローラーに接続するのは簡単です。石英は熱を長時間保持できないため、ランプはすぐに加熱され、すぐに冷却されます。これにより、ウェーハの温度制御が容易になります。
ランプが寿命を迎えたら、交換すればいいだけです。非常に簡単な交換作業です。技術者の方々へのアドバイスとして、ランプを取り付ける前に、フリルーフリーウィップやIPAを使って管をきれいにしてください。完璧に清潔にしておけば、問題ありません。