シャードの発生を防ぐ：IRランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法
半導体やセンサーのパッケージング作業を経験したことがある人なら、その状況をよく知っているでしょう。高負荷のIRランプが壊れてしまうと、瞬時に生産ラインが停止してしまいます。それはまさに災害状態です。
単に熱が出なくなるだけではありません。ガラスの破片や化学物質がウェーハに飛び散ります。1本のランプが壊れるだけで、数秒で全てのウェーハがダメになってしまいます。これは本当に避けたい悪夢です。
なぜこんなことが起こるのでしょうか？
ほとんどの場合、クォーツを限界まで使っているからです。故障は通常、シール部分やホットスポットが生じる箇所で起こります。太さが不十分なランプに過度な電力を供給すると、クォーツはそのストレスに耐えられずに壊れてしまいます。
私たちの経験では、高純度の合成クォーツを使用すると大変効果的です。温度が急激に変動しても、合成クォーツはパニックにならず、安定した状態を保ちます。
安全対策を講じる
ウェーハを破片から守るために、私たちは「ベルトとサスペンダー」のような対策を取ります。IRランプを高温用の保護カバーで覆うのです。これにより、内部のランプが壊れても、破片はすべてカバーの中に留まります。そうすれば、センサーのパッケージングが清潔なまま保たれます。
そして、もう一つのコツがあります。コネクタを確認してください。もし緩んでいると、アークが発生し、それによってランプが壊れてしまいます。精密に適合した端子を使用すれば、電力がスムーズに流れ、ランプが突然壊れるのを防げます。
妥協点
ただし、カバーを追加すると、熱とウェーハの間に障壁ができてしまいます。その結果、IRエネルギーが少し失われます。それ自体は致命的ではありませんが、気づくでしょう。同じ効果を得るためには、電力設定を上げたり、ウェーハをもう少し置いておく必要があります。
最後に、冷却ファンにも注意が必要です。ケースが過度に熱くなると、保護カバー自体が破損してしまいます。空気の流れを保つことで、保護カバーもランプと同じく長持ちします。