なぜ、強制送風式の加熱方法をやめて、金製反射器を使ったIR加熱方式に切り替えるのか？ 半導体の製造において、時間というのは単なる指標ではなく、実際にはコストそのものです。部品が処理工程にかかる1分1秒が、利益を奪っていくことになります。 依然として多くの工場では熱風循環方式を利用しています。確かに効果的ですが、私たちは、サイクルタイムを大幅に短縮するために、金製反射器を組み合わせたIRランプを使う方が良いと考えています。 加熱方式の違い 熱風を使う場合、まず空気を温めてから、その空気が部品に熱を伝えるのを待つ必要があります。常に遅れが生じます。IRの場合は異なります。これは電磁波なので、空気のような「仲介者」は不要です。直接基板上に熱が届きます。つまり、光速でエネルギーが伝達されるのです。 では、なぜ金を使うのか？ 金は赤外線を効果的に反射する特性を持っているからです。通常のアルミニウム製の反射器を使うと、エネルギーが装置のフレームに失われてしまいます。これは無駄遣いです。金なら、その熱を直接部品に返すことができます。これにより、数秒で目標の温度に到達できます。数分ではありません。数秒です。 生産性への影響 対流式オーブンを金製反射器を持つIRシステムに置き換えると、「時間によるコスト」がなくなります。 ほぼ瞬時に加熱・冷却が行われるため、熱プロファイルをより正確に制御できます。半導体の層を扱う際には、これは非常に重要です。完璧な製造が可能になるのです。そうでなければ、ワッフルが変形したり、化学薬品が劣化したりする可能性があります。 注意点（必ずあるものです） IRは速いですが、方向性があります。 部品の形状が複雑だと、「冷たい部分」ができてしまうことがあります。熱は直線的に進むため、ランプが角を見ることができないと、その角は冷たいままです。ファンで熱を送り込むことはできません。ランプの配置には十分注意が必要です。 また、これらのランプは大量の熱を発生させます。ケースの通気を適切に行わないと、問題が起こります。金製反射器の周囲に過度な熱があると、センサーが破壊されたり、ランプが早期に寿命を迎えたりする可能性があります。 私のアドバイスは、信頼性の高いPIDコントローラーを使うことです。そうすれば、設定値を超えることがなく、プロセスを安定させることができます。