熱の無駄遣いを止めよう：ウェーハの硬化処理におけるより良い方法 標準的なIRランプには問題があります。それは、熱があらゆる方向に放出されてしまうことです。つまり、360度全方位に熱が広がってしまうのです。 ウェーハを硬化処理する際、ウェーハに当たらないエネルギーは、単なる無駄遣いに過ぎません。さら...

なぜウェーハの乾燥に赤外線を使用するのか ウェーハの乾燥について話しましょう。長年にわたり、私たちは対流式の加熱方法を使ってきました。つまり、巨大な空気容器を加熱し、その熱でウェーハが乾くことを期待していたのです。しかし、これはまるで、ピザを温めるために家全体を暖めるようなものです。 だからこそ、...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために ウェーハ製造の現場では、ほんのわずかなほこりでも大問題です。それは、一括りのチップ全体が破棄される原因となります。非常にストレスの多い状況です。このような環境では、ほとんどの加熱要素が問題を引き起こします。なぜなら、本来必要ないタイミングで...

なぜ、すべてのウェハ用IRセンサーに対してストレステストを行うのか？ ウェハ製造用のIRセンサーを開発する際には、「十分である」ということはありません。電気的なアークやわずかな絶縁不良は、単なる技術的な問題ではありません。それは大災害です。それによって、大量のシリコンウェハが破壊され、生産ライン全...

製造現場では、焼成プロファイルに0.5°Cの変動があるだけで、線幅がナノメートル単位で変わってしまいます。また、粒子の発生によって多くの製品が破壊されてしまうこともあります。そのため、ウェーハレベルのCSPヒーターは、再現性の高い、安定した熱を迅速に供給できる必要があります。私たちは、このような要...

ファブの現場では、許容誤差を追うのではなく、温度制御を重視します。フォトレジストを加熱する際に0.5℃でも温度がずれるだけで、良好な品質のウェーハが廃棄物になってしまいます。私たちは、各サイクルごとにウェーハ全体の温度を正確に保つために、このウェーハ乾燥装置を開発しました。 技術的に重要な点 私た...