グローブボックス用赤外線ヒーター素子

ガラスの破片を防ぐ：IRランプが故障したときにウエハーを清潔に保つ方法 高負荷のグローブボックス内でIRランプが破裂したことがある人なら、それがどれほど深刻な問題かわかるでしょう。単に機械が停止するだけではありません。周囲がめちゃくちゃになってしまいます。1本の石英管が割れるだけで、ガラスの破片や...