高効率ウェーハ乾燥用ボール

ファブの現場では、許容誤差を追うのではなく、温度制御を重視します。フォトレジストを加熱する際に0.5℃でも温度がずれるだけで、良好な品質のウェーハが廃棄物になってしまいます。私たちは、各サイクルごとにウェーハ全体の温度を正確に保つために、このウェーハ乾燥装置を開発しました。 技術的に重要な点 私た...