BCB ベンゾシクロブテン 硬化ランプ

アウトライン上で、BCB層の熱プロファイルがずれると、即座に停止するわけではありません。徐々に歩留まりが低下し、残留応力や接着不良が数時間後のテストで初めて表面化します。このドリフトを根本から抑制するために、BCB硬化用ランプを開発しました。リソグラフィ、パッケージング、洗浄工程において、温度は推...