バイオセンサーをより効率的に加熱する方法（そしてエネルギーの無駄遣いを防ぐ方法） バイオセンサーを作る際には、適切な硬化や乾燥処理が何よりも重要です。長年にわたり、一般的にはすべての材料を大きな対流式オーブンに入れて加熱していました。しかし正直なところ、わずかな材料を温めるために大量の空気を温める...

高温環境下でもクリーンな状態を保つために もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、エアフィルターだけでは不十分であることはご存知でしょう。本当の問題は、加熱要素から発生するガスや、微細な粒子です。 一般的なガラスや安価なクォーツでは、このような高温に耐えられません。温度が上昇すると、表...

CNTヒーターを使って半製品をより環境に優しいものにする 無鉛で環境に優しい半導体製造プロセスへの移行は、単なるトレンドではなく、業界が進むべき方向です。しかし、古い乾燥方法を使ってその環境基準を達成しようとすると、電気代がかさみすぎて大変です。そこで役立つのがカーボンナノチューブ（CNT）ヒータ...

マシン全体を加熱するのではなく、センサーだけを加熱しましょう。 水素センサーを製造する際に最も避けたいのは、製造室全体をオーブンのようにしてしまうことです。 通常の加熱方法では、熱があちこちに散らばってしまい、高価な装置の内側の壁面を温めるだけで莫大なエネルギーが無駄になります。非効率的であり、実...

ファブの現場では、バイオセンサー用ウェーハの品質は、加熱処理の再現性にかかっています。フォトレジストを焼成する際に30m°Cもの温度変動があると、線幅の制御ができなくなります。また、過度な加熱によって粒子が発生すると、歩留まりが著しく低下します。そうした不確実性をなくすために、私たちはIRランプシ...