高温環境下でもクリーンな状態を保つために
もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、エアフィルターだけでは不十分であることはご存知でしょう。本当の問題は、加熱要素から発生するガスや、微細な粒子です。
一般的なガラスや安価なクォーツでは、このような高温に耐えられません。温度が上昇すると、表面が剥がれたり、不純物が漏れ出したりします。ウェーハを扱う際にはこれは大きな問題です。そのため、私たちはIRランプに高純度の合成クォーツを使用しています。そうすれば、形状が崩れることはありません。
材料が重要な理由
実際、重要なのはクォーツの内部に何が含まれているかです。微量の金属や不純物を取り除くことで、急速な温度変化によって生じる問題を防ぎます。つまり、基板に何も付着しないのです。
また、フィラメントの寿命を延ばすために、ハロゲンガスを使用しています。これにより、ランプの交換回数が減り、ダウンタイムも少なくなります。また、人間が誤って汚染物質を持ち込む可能性も大幅に減少します。
設計上の詳細
これらのランプはコンパクトに設計されています。精密に加工されたエンドキャップを使用することで、密封性を確保しています。もし密封が破れると、ハロゲンガスが逃げてしまい、フィラメントがすぐに壊れてしまいます。
ワット数や電圧は、お使いの電源に合わせて調整可能ですが、注意が必要です。高出力のランプは非常に熱くなります。そのため、冷却システムが適切でないと、ランプのケースが変形してしまいます。
取り付け方法
これらのランプは、既存のコントローラーに直接接続できます。シャーシを分解する必要はありません。
ただし、高純度のクォーツは最もクリーンな材料ですが、ドープされた素材よりも少し脆いです。**どうか、装置を守るために、素手でランプに触れないでください。**皮膚から出る油分が原因で、ランプが早期に壊れてしまいます。無繊維の手袋やIPAウェットを使用すれば問題ありません。