もう、ヒーターを待つのはやめましょう。なぜファブでは赤外線加熱が熱風加熱より優れているのか
古い工場を見てみると、依然としてウェーハを加熱したり硬化させたりするために熱風を利用している装置がたくさんあります。これは昔ながらの方法ですが、大きな欠点があります。それは、時間がかかることです。
空気は熱を伝えるのが非常に悪い素材です。熱風を使う場合、実質的には待つしかありません。まず空気を温め、次にチャンバーを温め、最後に部品自体を温める必要があります。基板が適切な温度に達するまでにかかる数分間は、単なる無駄な時間です。
中間過程を省く
赤外線加熱では、部屋全体を温める代わりに、短波長の赤外線ランプが電磁波を直接対象物に送り込みます。これにより、直接的な加熱が可能になります。
高度な処理においては、この点が大きな利点となります。もはや数分も待つ必要はなく、数十秒で済みます。これにより、全体の作業効率が大幅に向上します。
高純度石英ガラスの重要性
ここでは、どんなガラスでも使えるわけではありません。安価な材料を使った場合、ランプが最大出力で動作し始めるとすぐにシールドが割れてしまいます。これは過酷な環境です。
標準的なホウケイ酸ガラスが柔らかくなってしまうほどの高温でも、高純度石英だけが固形の状態を保ちます。
しかし、注意点もあります。シールドを絶対に汚してはいけません。石英に汚れが付くと、熱の集中が起こり、ランプが本来以上に高温になってしまいます。そうなると、フィラメントが壊れてしまいます。
トレードオフ
赤外線加熱も万能なわけではありません。熱密度という問題があります。
これらのランプは、ごく小さな空間に莫大なエネルギーを蓄えています。冷却システムが十分でなければ、その熱によって固定具が変形してしまいます。さらに、ランプが十分に冷却されない場合、通常よりも早く壊れてしまいます。
速度は素晴らしいですが、それに見合った冷却システムが必要です。