なぜウェーハの乾燥に赤外線を使用するのか ウェーハの乾燥について話しましょう。長年にわたり、私たちは対流式の加熱方法を使ってきました。つまり、巨大な空気容器を加熱し、その熱でウェーハが乾くことを期待していたのです。しかし、これはまるで、ピザを温めるために家全体を暖めるようなものです。 だからこそ、...

IRを利用して半製品の余分な熱を除去する 正直言って、半導体製造においては熱管理が大きな課題です。長年にわたり、私たちは抵抗加熱法に頼ってきましたが、これはまるでキッチン全体を温めて、一つのトーストだけを温めようとするようなものです。これはエネルギーの無駄遣いそのものです。 しかし、もっと良い方法...

ランプの故障によって製品が台無しになる心配はもうしなくて大丈夫です。 高負荷のウェーハ製造ラインでは、1本のランプが壊れるだけでも大変な事態になります。クォーツ管が割れると、ガラスの破片やほこりがウェーハの上に降り注ぎます。これは即座の災害です。その場合、全てのウェーハがダメになり、多大な清掃作業...