なぜウェーハの乾燥に赤外線を使用するのか
ウェーハの乾燥について話しましょう。長年にわたり、私たちは対流式の加熱方法を使ってきました。つまり、巨大な空気容器を加熱し、その熱でウェーハが乾くことを期待していたのです。しかし、これはまるで、ピザを温めるために家全体を暖めるようなものです。
だからこそ、私たちは赤外線を利用するようになったのです。対流式では空気と戦う必要がありますが、赤外線ランプは熱を直接基板上に当てるのです。これにより、より効率的で、速く乾燥できます。また、これは「グリーンエネルギー」の目標を達成し、鉛を使わないようにする上で重要な手段でもあります。
壁にエネルギーを無駄にしない
従来の熱風オーブンを考えてみてください。部屋の壁や中の空間を温めるために大量のエネルギーが消費されます。これは無駄遣いです。
赤外線を使えば、そのような無駄がありません。エネルギーをウェーハの表面に直接集中させるのです。速度の違いは驚くほど大きく、数時間待つ必要があったものが数秒で準備できます。このようにして準備時間を短縮すれば、部屋を温めるために消費される電力も減ります。
難しいケースへの対応
鉛フリーのはんだや環境に優しい樹脂を使う場合、適切な温度管理が必要です。温度が適切でなければ、ウェーハが変形してしまいます。
赤外線を使えば、波長を調整して、使用している化学コーティングに合わせることができます。さらに、燃焼や有害な溶剤が不要なので、環境面でも優れています。排出物もなく、鉛を含む成分もありません。純粋な熱だけです。
欠点（必ずあるものですが）
もちろん、完璧というわけではありません。熱密度が非常に高いため、物事が急速に進行します。
PIDコントローラーの設定が正確でなければ、目標温度を超えてしまうこともあります。一度間違えると、ウェーハが損傷してしまいます。そのため、正確な温度管理のためには高精度のセンサーが必要です。
私たちは、このシステムを従来の対流式装置の代わりに使えるように設計しました。これにより、スペースを節約でき、電気代も削減できます。ただし、ランプ周辺の高温に耐えられる冷却ファンが必要です。そうでなければ、状況が悪化してしまいます。