ファブランプ用交換フィラメント

ファブフロアにおいて、リソグラフィとベーク工程は熱制御の成否にかかっている。ランプ出力が変動すればCDの均一性が損なわれ、フィラメントが劣化すれば生産ラインが停止する。そこで、私たちはその不確実性を排除するための代替フィラメントを設計した。 重要なのは負荷下での再現性である。フィラメントは短波およ...