製造現場においては、ストリッピングチャンバーは所定の温度に達するまで待機状態にあります。もしサポートヒーターの温度が不安定になると、残留物が残ってしまい、次に塗布される層がうまく密着しなくなります。そのため、繰り返し焼成を行う際にも、常に所定の温度を維持できる熱制御が必要です。 実際に重要なのは何...

リソグラフィ工程のフロアでは、わずか0.2℃のソフトベークの温度変動が、クリティカルディメンションのバイアスを引き起こし、ラインエッジラフネスを悪化させる。結果として大量のスクラップが発生することになる。ベークは単なる加熱工程ではない。露光前にフォトレジストのプロファイルを確定させる熱予算である。...