省エネ型ウェーハヒーター

なぜウェーハの乾燥に赤外線を使用するのか ウェーハの乾燥について話しましょう。長年にわたり、私たちは対流式の加熱方法を使ってきました。つまり、巨大な空気容器を加熱し、その熱でウェーハが乾くことを期待していたのです。しかし、これはまるで、ピザを温めるために家全体を暖めるようなものです。 だからこそ、...