もう、赤外線ヒーターを使って推測するのはやめましょう。 もしまだ従来型のアナログ式サーモスタットや手動調整に頼っているのであれば、それはまるで目隠しをして作業しているようなものです。私たちもみんな同じ経験をしてきました——ダイヤルを調整して、うまくいくことを願うだけです。しかし、その「設定して忘れ...

ファブの現場では、許容誤差を追うのではなく、温度制御を重視します。フォトレジストを加熱する際に0.5℃でも温度がずれるだけで、良好な品質のウェーハが廃棄物になってしまいます。私たちは、各サイクルごとにウェーハ全体の温度を正確に保つために、このウェーハ乾燥装置を開発しました。 技術的に重要な点 私た...