熱の無駄遣いを止めよう：ウェーハの硬化処理におけるより良い方法 標準的なIRランプには問題があります。それは、熱があらゆる方向に放出されてしまうことです。つまり、360度全方位に熱が広がってしまうのです。 ウェーハを硬化処理する際、ウェーハに当たらないエネルギーは、単なる無駄遣いに過ぎません。さら...

化学処理エリアでIRランプを使用する際には、危険が伴います。そこには可燃性の蒸気や、あらゆるものを腐食させるような腐食性液体が存在します。通常の開放型ランプをそのような環境に置くと、火災を引き起こす可能性が高くなります。 私たちは、特殊なアルミニウム製の反射器と密封されたケースを組み合わせることで...

なぜ、強制送風式の加熱方法をやめて、金製反射器を使ったIR加熱方式に切り替えるのか？ 半導体の製造において、時間というのは単なる指標ではなく、実際にはコストそのものです。部品が処理工程にかかる1分1秒が、利益を奪っていくことになります。 依然として多くの工場では熱風循環方式を利用しています。確かに...