ウェーハ乾燥における赤外線対対流法

ウォーファが最終すすぎから出てくる様子を観察してください。もし乾燥工程で熱予算を守れなければ、微小なプール形成が発生し、次のフォトレジスト塗布でそれが影響します。エッジビードが現れ、クリティカルディメンションがずれます。突然、ロットがスクラップを迎えることになります。 したがって、単に速く乾燥させ...