半導体ヒーター用熱電対

IR加熱を使って適切な温度制御を実現するには 半導体製造工場の炭素排出量を削減したいのであれば、古い抵抗式ヒーターに頼るのはやめなければなりません。赤外線ランプシステムに切り替えることが理想的です。なぜなら、赤外線はウェーハ自体に直接熱を与えるため、周囲のものを温めるためのエネルギーの無駄遣いがな...