オゾンフリー赤外線ランプ

ウェーハにより多くの熱を与える方法（無駄なく） 半導体ウェーハを扱う際、化学的汚染は大きな問題です。そのため、私たちはオゾンを含まない赤外線ランプを使用しています。しかし、実際の課題は、どれだけの熱を生み出せるかではなく、そのエネルギーのうち、どれだけがウェーハに届き、どれだけが無駄になってしまう...