クリーンルームでの炭素削減：なぜ防水型赤外線ヒーターが効果的なのか
半導体の洗浄工程について正直に言えば、これらはかなりの電力を消費します。長年にわたり、ウェハーを乾燥させるために大量の空気を加熱するのが一般的な方法でした。しかし、わずかな水分を取り除くためだけに多くのエネルギーを無駄にしているのです。
私たちは、より良い方法を見つけました。それが防水型赤外線ランプです。
空気を加熱する必要はない
赤外線ランプの特徴は、チャンバー内の空気を温める必要がない点です。代わりに、エネルギーを直接ウェハー表面に照射します。これはずっと合理的な方法です。部屋全体を温めるために何キロワットもの電力を使う代わりに、目的の場所だけを加熱するのです。このように熱を集中させることで、電力消費量を大幅に削減できます。もし「グリーンファクトリー」を構築したいのであれば、これは炭素排出量を減らすための最も簡単な手段の一つです。
スプラッシュゾーンに適している
通常、高熱ランプを洗浄工程に使用すると問題が起きがちです。高湿度や液体の飛散によって、石英管が割れたり、短絡が起きたりします。私たちは、専用の防水コーティングや耐湿性のあるエンドキャップを使ってランプを保護しました。これにより、水が電極に触れるのを防ぎ、湿った環境でもランプが正常に動作し続けます。
デメリットもある
もちろん、完璧な解決策というわけではありません。高強度の赤外線を使用すると、冷却システムにも注意が必要になります。熱が集中するため、ウェハーは非常に速く乾燥しますが、その局所的な熱によって近くのセンサーやプラスチック部品が損傷する可能性があります。そのため、周囲の温度を適切に保つために、冷却ファンやヒートシンクを強化する必要があります。小さな調整ですが、必要な措置です。
結論として
その結果、処理時間が短縮されます。ウェハーが速く乾燥するので、より多くのウェハーを処理できます。また、1つのウェハーあたりの電力消費量も減ります。そうすることで、ウェハー1つあたりの炭素排出量も減少します。PIDコントローラーを使って温度を厳密に管理すれば、生産性を損なうことなく、持続可能な目標を達成できます。簡単です。