クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
クラス100という環境で作業を行うとき、最も避けたいのが、ヒーターが「砲のように」機能してしまうことです。一般的なヒーターでは、粒子が剥がれ落ちたり、ガスが放出されたりすることがあります。もし、わずかな微粒子でもシリコンウェーハや精密なレンズに付着してしまうと、そのロット全体が無価値になってしまいます。
そこで、私たちは高純度の合成石英を使った赤外線ランプを使用しています。
なぜ石英が重要なのか
私たちが使用するのは、特殊な種類の融解したシリカです。それは非常に純粋です。つまり、加熱されると、不要な揮発性有機化合物（VOC）が空気中に漏れ出ることがありません。また、普通のガラスとは違い、温度が急激に変化しても壊れることはありません。
このランプが工場を出る前に、表面のあらゆる汚染物質が取り除かれます。スイッチを入れると、このランプから出てくるのは赤外線だけです。ほこりも煙も何もありません。
適切な熱量の調整
得られる熱量は、電圧とワット数によって決まります。高ワット数のランプを狭い空間に設置すると、強烈な熱が発生します。これは物を素早く硬化させるのには良いですが、装置に大きな負担を与えます。必ず冷却ファンやヒートシンクが十分に機能しているか確認してください。そうでなければ、装置が歪んでしまう可能性があります。
ほとんどの場合、私たちは既存の装置に簡単に取り付けられるように設計しています。既存の装置にぴったりと収まり、現在の電源系統とも良好に連携します。
設置とメンテナンスのコツ
私たちは金メッキまたは高品質なニッケル製のコネクタを使用しています。なぜかというと、酸化は大敵だからです。酸化によって抵抗が生じ、その結果、熱が発生します。これは絶対に避けたいことです。これらの材料を使用すれば、コネクタが劣化するのを防げます。
ただし、一つ注意点があります：**石英は壊れやすいのです。**必ず素手で触らないでください。皮膚から出る油分がガラス上に「ホットスポット」を作り、それが原因でランプが割れてしまいます。必ず布製の手袋を着用してください。もし設置時に指紋が残ってしまうと、ランプは本来の寿命よりも早く壊れてしまうでしょう。