ウェーハを温めるのではなく、機械自体を温めないようにしましょう。
半導体製造工場では、熱は非常に重要な要素です。ただし、その熱が本来あるべき場所以外に行ってしまうと問題になります。
問題点は、一般的な赤外線ランプはエネルギーを全方位に放出してしまうことです。これを硬化室の中に設置すると、その熱の大部分がウェーハではなく、室内の壁に当たってしまいます。これはエネルギーの無駄遣いであり、機械の外側が巨大なヒーターのようになってしまいます。作業員がその周りで作業するのは当然困難です。
熱を正しい場所に送る方法
私たちは、指向性のある赤外線技術を使用してこの問題を解決しています。単純な石英管の代わりに、反射板や特別なコーティングが施されたランプを使用します。
これは、電球から懐中電灯に変えるのと同じです。光束を絞り込み、エネルギーを直接対象物に向けて送ります。そうすれば、機械の壁は不要な熱を吸収せずに冷たい状態を保つことができます。そして、部品には正確な温度が得られ、機械の他の部分も冷たいままです。
注意すべきポイント
これは「プラグを差せば使える」という簡単なものではありません。正確さが求められます。
もし部品が少しでも位置がずれていると、集中した光束を逃してしまい、メリットを得られません。焦点が重要です。
また、大量のエネルギーを狭い範囲に集中させるため、表面の熱量が非常に高くなります。基板がそのような高温に耐えられるかどうかを確認してください。
もう一つのアドバイスとして、古い機器にこれらのランプを取り付ける場合は、まず配線をチェックしてください。高ワット数のランプは多くの電流を消費します。もしケーブルや電源装置がそれに耐えられない場合、破損の原因となります。
実際のメリット
このようにして「壁を温める」現象を防ぐことで、電気代を節約できるだけでなく、安全面でも利点があります。作業員は火傷の心配なく機械の周りを動けます。また、空調システムにとっても良い影響があります。熱が本来あるべき場所に留まるため、部屋を冷やすための努力が不要になります。