如何保持100级洁净室的整体清洁度
在晶圆制造领域，哪怕只有一粒灰尘存在，都会对整批芯片造成毁灭性影响。因此，我们必须确保环境绝对清洁。在这种环境下，大多数加热元件都会成为问题——因为它们会在不恰当的时候释放气体或产生颗粒物。
正因如此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。这类灯泡不会引发此类问题。
石英的优势
我们使用的的是熔融硅材料，这种材料能够承受高温而不会结晶。如果使用劣质的玻璃或低等级的石英，那么在加热和冷却过程中，这些材料就会出现裂纹或产生粉尘。这种情况是绝对不可接受的。我们的灯泡表面始终保持光滑状态。由于红外辐射直接作用于晶圆表面，因此不会有任何杂质进入晶圆表面。
适配半导体设备
我们知道，半导体设备的空间非常有限。因此，我们对灯丝的形状进行了优化，以确保热量能均匀地照射到晶圆上。这样一来，就不会出现热点或温度梯度，更重要的是，晶圆在加热或固化过程中也不会变形。
我们还非常注重密封性能。我们会确保卤素气体始终留在灯泡内部，不会泄漏到真空环境中。不过，这些密封件也很容易损坏。一旦密封件失效，灯泡就会很快烧毁。这是一个权衡之道：我们宁愿让灯泡尽快损坏，也不愿让泄漏破坏整个洁净室的环境。因此，操作时必须格外小心，精确对齐灯泡，以避免给石英带来过大压力。
安装与使用
将这些灯泡连接到现有的PID控制器上其实很简单。由于石英无法长时间蓄热，这些灯泡可以快速升温并降温。这样一来，就能更精准地控制晶圆的温度。当灯泡达到使用寿命后，只需更换新的灯泡即可。给技术人员的一点提示：在更换灯泡之前，先用无纺布和异丙醇将灯泡表面清理干净。只要保持表面干净，就可以正常使用了。