高效晶圆干燥灯泡

在工厂的生产线上，人们追求的不是尺寸的精确度，而是温度控制的精准性。光阻烘烤过程中，只要温度出现0.5℃的波动，就足以让原本合格的产品变成废品。我们设计了这种晶圆干燥装置，以确保每次烘烤过程中，整个晶圆的温度都能保持稳定。 从技术层面来看，什么才是最重要的？ 我们选择石英材质的短波红外卤素灯，因为...