用于半导体加热器的热电偶

如何通过红外加热实现有效的温度控制 如果我们真的想减少半导体制造厂带来的环境负担，那就必须放弃使用那些传统的电阻式加热器。改用红外灯系统才是明智之举，因为红外灯可以直接照射到晶圆上，而不会浪费能量去加热周围的空气。 不过，这里有个问题：红外加热的速度实在太快了。如果温度检测装置无法及时响应这种快速...