用于光刻机的石英玻璃防护罩
别再等待加热器了:为什么在芯片制造中红外加热更胜一筹 如果你走进那些较旧的芯片制造厂,很可能会看到许多仍在使用热空气循环来加热或固化晶圆的设备。这虽然是一种传统的方法,但它有个巨大的缺陷:效率极低。
空气其实是极差的热传导介质。使用热空气时,实际上是在等待时间——首先需要加热空气,然后再加热整个腔...
石英船加热灯制造
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输入文本 观察石英舟在晶圆厂洁净区内穿过热工序,你就能理解其中的重要性。如果灯光加热不准确,就会出现边缘珠、附着力差或水分难以完全排出的情...