适用于Fab灯的替换灯丝

在工厂车间，光刻和烘烤工艺的成败取决于热控。灯泡输出的漂移会破坏关键尺寸（CD）均匀性，而灯丝性能的下降会导致产线停机。我们设计的替换灯丝旨在消除这种不确定性。 关键在于负载下的可重复性。该灯丝被设计为在短波和中波谱线上保持稳定的发射率，从而保证软烘烤和硬烘烤时的辐射功率保持一致。晶圆级均匀性控制...