晶圆固化灯用反射器
停止浪费热量:更有效的晶圆固化方法
传统红外灯的问题在于,它们会向各个方向散发热量——也就是360度全方位散热。在晶圆固化过程中,那些没有照射到晶圆上的能量其实都是浪费的。更糟糕的是,这些多余的Heat还会让机器内部过热,从而增加操作人员的安全风险。此外,由于热膨胀作用,还可能导致机器框架变形。这...
经认证的红外固化灯制造商
别再让机器过热了,而是应该让热量直接作用于晶圆上 在半导体制造厂中,热量本应是宝贵的资源——但前提是它不能被浪费在错误的地方。
问题在于:普通的红外灯会将能量向各个方向散发。当这些灯被安装在固化腔内时,大部分热量会照射到腔体内壁,而不是晶圆上。这不仅浪费了能源,还会使机器外部变成一个巨大的“加热器...