红外发射器的陶瓷端盖

为何在半导体加工中要从热风加热转向红外加热 想想普通烤箱的工作原理吧：它先加热空气，再让空气来加热待处理的工件。这种方法对于烤蛋糕来说还行，但在半导体加工中则效率极低。因为存在明显的延迟现象——必须等待空气充分加热后才能开始加工。 正因如此，许多工程师选择放弃热风加热，转而使用红外加热器。红外加热...