不必再担心灯泡故障会毁掉整批芯片了。在高负荷的晶圆制造厂里，一旦有灯泡损坏，那简直就是一场灾难。石英管破裂后，玻璃碎片和灰尘会直接落在晶圆上，导致整个批次的产品报废，同时还需要进行大量的清洁工作。我们设计的红外灯就是为了避免这种情况发生。 防止污染扩散 我们选用高纯度的合成石英材料，因为这种材料能...

观察晶圆从最后一次冲洗中取出。如果干燥步骤未达到热预算，您仍会出现微小积水——下一层光刻胶将对此产生影响。边缘珠现象会出现。关键尺寸漂移。突然间，这批次就面临报废的风险。 因此，干燥不仅仅是快速的问题。它还涉及在整个表面上均匀、干净地传递热量。 底层关键因素 红外干燥直接用短波或中波能量加热水——...