Veeco MOCVD加热灯

在制造车间里，软烘和硬烘过程中的温度波动是影响光刻胶性能的关键因素。只要温度偏差达到2°C，关键尺寸的控制就会受到影响，进而导致蚀刻过程出现问题。我们设计了Veeco MOCVD加热灯，旨在消除这种不确定性。 核心优势 该加热灯采用石英外壳内的短波近红外卤素元件，因此能够实现快速、局部的加热效果，...