晶圆加工设备的温度传感器

如何保持100级洁净室的整体清洁度 在晶圆制造领域，哪怕只有一粒灰尘存在，都会对整批芯片造成毁灭性影响。因此，我们必须确保环境绝对清洁。在这种环境下，大多数加热元件都会成为问题——因为它们会在不恰当的时候释放气体或产生颗粒物。 正因如此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。这类灯泡不会引发此类问题...