无臭氧红外线灯

如何让晶圆获得更多热量（同时避免能量浪费） 在处理半导体晶圆时，化学污染是个大问题。因此，我们选择使用不产生臭氧的红外灯。不过，真正的挑战在于：关键不在于能产生多少热量，而在于有多少热量真正作用在晶圆上，而不是白白散失掉。 这时，镀金反射器就派上用场了。 为什么选黄金？ 大多数人使用铝作为反射材料...