如何让晶圆获得更多热量（同时避免能量浪费）
在处理半导体晶圆时，化学污染是个大问题。因此，我们选择使用不产生臭氧的红外灯。不过，真正的挑战在于：关键不在于能产生多少热量，而在于有多少热量真正作用在晶圆上，而不是白白散失掉。
这时，镀金反射器就派上用场了。
为什么选黄金？
大多数人使用铝作为反射材料，但铝对红外能量有着很强的吸收能力。而黄金则不同——它能够以极高的效率将近红外光子反射回去。这样一来，机器的散热系统就不必再为加热机壳而消耗能量，这些能量可以直接传递到晶圆上。这样，每消耗一瓦特的电能，就能为晶圆提供更多的热量。这无疑是一种更高效的做法。
关于热量的注意事项
由于我们使用了不产生臭氧的石英管，因此185纳米波段的辐射就被抑制住了。这样就能避免氧气进入洁净室，这对任何洁净室来说都是至关重要的。不过，当这些灯与镀金反射器一起使用时，热量密度会显著上升。因此，必须注意做好冷却工作。如果气流控制不当，可能会损坏灯座或使框架变形。这是一个常见的错误，但后果却很严重。
实际应用中的注意事项
在安装时，距离非常重要。我们尽量让灯与晶圆保持近距离，因为这样热量就不会过度散失。如果你用镀金反射器替换原来的铝制反射器，立刻就能感受到差异——晶圆能达到目标温度的时间会大大缩短。这样一来，生产周期就会缩短，效率也会提高。
只有一点需要注意：一定要保持那些反射器的清洁度。哪怕是轻微的指纹或油渍，都可能造成局部温度不均匀的情况。请小心对待它们，这样才能确保产品的合格率。