TARC/BARC烘烤加热器

在光刻工艺中，TARC/BARC烘烤过程中哪怕只有半度的温度偏差，都足以导致关键尺寸出现偏差，进而引发缺陷，而这些缺陷往往要在后期检测时才能被发现。因此，需要的是一个稳定的温度参数，而不是另一个会变化的变量。 从技术层面来看，重要的是什么？ 我们设计的TARC/BARC烘烤加热器采用了短波红外元件...