可持续的制造解决方案

在提高温度的同时保持洁净度 如果您正在使用100级洁净室，那么您应该知道，空气过滤器只能起到一半的作用。真正令人头疼的问题在于气体释放以及加热元件上产生的那些微小颗粒。 普通的玻璃或廉价石英材料根本无法承受高温。一旦达到临界温度，它们就会开始碎裂或释放出杂质。这对于处理晶圆来说显然是不可接受的。因...